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Anwendung von Siliziumkarbid in der Halbleiterindustrie

【Produktionsprozess】

Das industrielle Herstellungsverfahren für Siliziumkarbid besteht in der Verwendung von hochwertigem Quarzsand und Petrolkoks in einem Widerstandsofen. Der raffinierte Siliziumkarbidblock wird zerkleinert, mit Säure und Lauge gewaschen, einer magnetischen Trennung und Siebung oder Wassertrennung unterzogen, um Produkte mit verschiedenen Partikelgrößen herzustellen.

Siliziumkarbid gibt es in zwei häufig verwendeten Grundvarianten: schwarzes Siliziumkarbid und grünes Siliziumkarbid, die beide zur Gruppe α-SiC gehören. (1) Schwarzes Siliziumkarbid enthält etwa 98,5 % SiC und hat eine höhere Zähigkeit als grünes Siliziumkarbid. Es wird hauptsächlich zur Bearbeitung von Materialien mit geringer Zugfestigkeit verwendet, wie etwa Glas, Keramik, Stein, feuerfesten Materialien, Gusseisen und Nichteisenmetallen. (2) Grünes Siliziumkarbid enthält mehr als 99 % SiC, ist gut selbstschärfend und wird hauptsächlich zur Bearbeitung von Hartmetall, Titanlegierungen und optischem Glas verwendet, aber auch zum Honen von Zylinderlaufbuchsen und zum Feinschleifen von Schnellarbeitsstahlwerkzeugen. Darüber hinaus gibt es kubisches Siliziumkarbid, ein gelbgrüner Kristall, der in einem speziellen Verfahren hergestellt wird und zur Herstellung eines Schleifmittels verwendet wird, das zum Feinschleifen von Lagern geeignet ist und die Oberflächenrauheit von Ra32 bis 0,16 Mikrometer auf Ra0,04 bis 0,02 Mikrometer steigern kann.

[Verwendungsweise】

(1) Als Schleifmittel kann es als Schleifmittel wie Schleifscheibe, Ölstein, Schleifkopf, Sandfliese usw. verwendet werden.

(2) Als metallurgisches Desoxidationsmittel und hochtemperaturbeständiges Material.

Siliziumkarbid hat vier Hauptanwendungsbereiche, nämlich: Funktionskeramik, moderne Feuerfestmaterialien, Schleifmittel und metallurgische Rohstoffe. Derzeit kann grobes Siliziumkarbidmaterial in großen Mengen geliefert werden, was nicht als Hightech-Produkt angesehen werden kann, und die Anwendung von nanoskaligem Siliziumkarbidpulver mit extrem hohem technischen Inhalt kann in kurzer Zeit keine Skaleneffekte erzielen.

(3) Hochreiner Einkristall, der zur Herstellung von Halbleitern und Siliziumkarbidfasern verwendet werden kann.

(4) Siliziumkarbid hat eine große Härte, eine ausgezeichnete Wärmeleitfähigkeit, ist eine Art Halbleiter und kann Oxidation bei hohen Temperaturen widerstehen

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